[实用新型]锁紧机构及真空腔室有效
申请号: | 201420066544.3 | 申请日: | 2014-02-14 |
公开(公告)号: | CN203778034U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 侯富昌;余斌 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | B01J3/00 | 分类号: | B01J3/00;B01J3/03;B05C3/09;B05D1/18;B22D45/00;B22F3/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种锁紧机构及真空腔室,包括气缸、与气缸相连的铰链座、与气缸相连的气缸用连杆、与气缸用连杆相固定的第一关节轴承、与第一关节轴承相连的锁紧杆、设置于锁紧杆上的锁紧螺丝、与锁紧杆相连的第二关节轴承以及与第二关节轴承相连锁紧支撑座;锁紧机构整体结构简单,使用方便可靠,功能易于实现,可高频率的使用,当应用至真空腔室上时,锁紧机构可对真空腔室提供持续的锁紧力,使真空腔室始终处于锁紧密封的状态,保证真空腔室的锁紧密封效果。 | ||
搜索关键词: | 机构 空腔 | ||
【主权项】:
一种锁紧机构,其特征在于,所述锁紧机构包括:气缸、铰链座、气缸用连杆、第一关节轴承、锁紧杆、锁紧螺丝、第二关节轴承以及锁紧支撑座;其中,所述铰链座与所述气缸相连;所述气缸用连杆的一端与所述气缸相连,另一端与所述第一关节轴承的一端相固定;所述锁紧杆与所述第一关节轴承的另一端相连;所述锁紧螺丝设置于所述锁紧杆上;所述第二关节轴承的一端与所述锁紧杆相连,所述锁紧支撑座与所述第二关节轴承的另一端相连。
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