[实用新型]一种晶棒晶面确定装置有效
申请号: | 201420064538.4 | 申请日: | 2014-02-13 |
公开(公告)号: | CN203595676U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 廖波;林文杰;李烨 | 申请(专利权)人: | 南京京晶光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/207 | 分类号: | G01N23/207 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 顾进 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶棒晶面确定装置,其包含有X射线定位平台,所述X射线定位平台中包括平台底座,以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏;所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接;所述X射线定位平台上设置有晶棒定位装置;所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接;所述倾斜载台包含有载台底座,以及设置在载台底座上,且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台;所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面;采用上述技术方案的晶棒晶面确定装置,其可高效便捷的实现各个规格晶棒的晶面角度的检测,从而确定晶棒是否符合生产需求,避免晶棒本身物理性质不佳导致加工产品的质量下降。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶棒晶面 确定 装置 | ||
【主权项】:
一种晶棒晶面确定装置,其包含有X射线定位平台,所述X射线定位平台中包括平台底座,以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏;所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接,其特征在于,所述X射线定位平台上设置有用于放置晶体的倾斜载台,与用于对晶棒进行定位的晶棒定位装置;所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接;所述倾斜载台包含有载台底座,以及设置在载台底座上,且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台;所述晶棒支撑平台底部与晶棒定位装置间距离小于晶棒支撑平台顶部与晶棒定位装置间的距离;所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面。
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