[实用新型]多晶硅锭开方金刚石线锯装置有效

专利信息
申请号: 201420043338.0 申请日: 2014-01-23
公开(公告)号: CN203680563U 公开(公告)日: 2014-07-02
发明(设计)人: 陈超;胡乔帆;王进保;吕智;张昌龙;林峰;谢志刚;秦建新;李东平 申请(专利权)人: 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 代理人: 廖世传
地址: 541004 广*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅锭开方金刚石线锯装置,包括切割多晶硅锭的金刚石线锯,所述金刚石线锯包括环形金刚石锯丝,至少两条以上环形金刚石锯丝分别由各自对应设置的导轮组张紧运转而形成X向相互平行的一组切割面,至少两条环形金刚石锯丝分别由各自对应设置的导轮组张紧而形成Y向相互平行的另一组切割面,两组切割面上的X向金刚石锯丝线族和Y向金刚石锯丝线族交叉形成方格形切割网。本实用新型采用多条环形金刚石锯丝排列成纵横的网状线切割多晶硅锭,有效利用环形金刚石锯丝单方向、无惯性力、高速运动的特性,可使加工效率相比往复式金刚石线锯装置提高3倍~5倍。
搜索关键词: 多晶 开方 金刚石 装置
【主权项】:
多晶硅锭开方金刚石线锯装置,包括切割多晶硅锭(3)的金刚石线锯机构,其特征在于:所述金刚石线锯机构包括环形金刚石锯丝(1),至少两条以上环形金刚石锯丝(1)分别由各自对应设置的导轮组张紧运转而形成X向相互平行的一组切割面,至少两条以上环形金刚石锯丝(1)分别由各自对应设置的导轮组张紧而形成Y向相互平行的另一组切割面,两组切割面上的X向金刚石锯丝(1)线族和Y向金刚石锯丝(1)线族交叉形成方格形切割网。
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