[发明专利]基于表面等离子共振原理的金-二氧化硅-金波导的光湿度传感装置在审
| 申请号： | 201410848657.3 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104458654A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱君;秦柳丽;宋树祥 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 卢玉恒 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面等离子共振原理的金-二氧化硅-金波导的光湿度传感装置，包括顺序连接的激光器、棱镜激发的金-二氧化硅-金波导表面等离子共振传感器、光谱检测仪，其特征是，所述棱镜激发的金-二氧化硅-金波导表面等离子共振传感器是在棱镜的底部顺序设置第一金膜层、二氧化硅膜层和第二金膜层构成。这种装置将SPR技术应用在湿度传感领域可以显著的提高湿度传感的灵敏度，同时还可以改进当前电子、电量湿度传感器存在的的集成化程度低、精度低、不稳定性、反应时间慢等不足，特别还能利用光学传感器的特点实现如远距离传输传感、低温复杂环境等特殊条件下的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 等离子 共振 原理 二氧化硅 波导 湿度 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种基于表面等离子共振原理的金‑二氧化硅‑金波导的光湿度传感装置，包括顺序连接的激光器、棱镜激发的金‑二氧化硅‑金波导表面等离子共振传感器、光谱检测仪，其特征是，所述棱镜激发的金‑二氧化硅‑金波导表面等离子共振传感器是在棱镜的底部顺序设置第一金膜层、二氧化硅膜层和第二金膜层构成，利用输出波长为632nm He‑Ne激光器出射的P偏振光激发表面等离子共振现象，通过共振角变化得到感湿变化量，通过SiO2对湿度的灵敏变化特点从而造成有效折射率变化，由光谱检测仪接收共振角变化，采用表面等离子共振原理以及湿度与有效折射率关系得到感湿变化量。
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