[发明专利]大尺寸微观仿真模型制作方法有效
| 申请号： | 201410638167.0 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN105628577B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陈霆;陈亚宁;耿建梅;王曦;马炳杰;范菲;杨海博;苏法卿;刘津;姚风英;王磊;李继山;张玉利;刘丽;孟小海 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司胜利油田分公司地质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 崔晓艳 |
| 地址： | 100728 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸微观仿真模型制作方法，该大尺寸微观仿真模型制作方法包括根据研究需要，设定技术指标，制作大尺寸微观仿真模型的底版；利用底版对大尺寸成品铬版进行光刻、显影和清洗；根据技术指标要求，选择适合的腐蚀试剂，对显影后的铬版进行刻蚀；初步清洗刻蚀好的铬版，然后进行打孔操作，制作实验所需的进、出口；将制备好的大尺寸微观仿真模型的铬版进行反复清洗，保证清洁度；将大尺寸微观仿真模型进行高温加热粘合。该大尺寸微观仿真模型制作方法解决了目前微观模拟实验中模型的有效区域过小的问题，大幅提升了该项实验技术的研究能力。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 微观 仿真 模型 制作方法 | ||
【主权项】：
1.大尺寸微观仿真模型制作方法，其特征在于，该大尺寸微观仿真模型制作方法包括：步骤1，根据研究需要，设定技术指标，制作大尺寸微观仿真模型的底版；步骤2，利用底版对大尺寸成品铬版进行光刻、显影和清洗；步骤3，根据技术指标要求，选择适合的腐蚀试剂，对显影后的铬版进行刻蚀；步骤4，初步清洗刻蚀好的铬版，然后进行打孔操作，制作实验所需的进、出口；步骤5，将制备好的大尺寸微观仿真模型的铬版进行反复清洗，保证清洁度；步骤6，将大尺寸微观仿真模型进行高温加热粘合；在步骤1中，制作大尺寸微观仿真模型的底版的材料为石英玻璃或派热克斯7740玻璃；在步骤3中，当需要进行深度刻蚀、毛细管刻蚀时，以HF和NH4F的混合液为刻蚀试剂，HF：NH4F＝0.5‑0.75:0.5‑0.75摩尔比，清洗间隔时间为20h；在步骤6中，将大尺寸微观仿真模型水平放置到大尺寸微观仿真模型专用平台上，把大尺寸微观仿真模型平台和模型一起放到数控高温炉中，进行高温加热粘合；低渗透模型采用690℃，三次烧制粘合方法；高渗透模型采用698℃，两次烧制粘合方法；该大尺寸微观仿真模型专用平台表面平整度在3µm以内，并且在800℃高温不变形。
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