[发明专利]一种制备薄膜的高温旋涂装置及方法

摘要

本发明公开了一种制备薄膜的高温旋涂装置及方法，包括可抽真空并可充惰性气体的密封室、连接与于密封室的顶端上用于固定待镀基片的样品固定架、设置于密封室内用于盛放薄膜原材料的石英坩埚、用于驱动样品固定架水平高速旋转的伺服电机、用于推动石英坩埚上下移动的推动机构，密封室的顶端安装有下端开口的上加热炉，密封室的底端安装有上端开口的下加热炉，样品固定架位于上加热炉内由所述的上加热炉预热样品固定架上固定的待镀基片，石英坩埚位于所述的样品固定架的正下方，且位于下加热炉内由下加热炉熔融石英坩埚内盛放的薄膜原材料；该装置结合方法制备薄膜能提高薄膜内组分的均一性、避免薄膜中微米颗粒的存在，且薄膜的厚度均匀并可控。

主权项

一种制备薄膜的高温旋涂装置，其特征在于包括可抽真空并可充惰性气体的密封室、连接于所述的密封室的顶端上用于固定待镀基片的样品固定架、设置于所述的密封室内用于盛放薄膜原材料的石英坩埚、用于驱动所述的样品固定架水平高速旋转的伺服电机、用于推动所述的石英坩埚上下移动的推动机构，所述的密封室的顶端安装有下端开口的上加热炉，所述的密封室的底端安装有上端开口的下加热炉，所述的样品固定架位于所述的上加热炉内由所述的上加热炉预热所述的样品固定架上固定的待镀基片，所述的石英坩埚位于所述的样品固定架的正下方，且位于所述的下加热炉内由所述的下加热炉加热熔融所述的石英坩埚内盛放的薄膜原材料。