[发明专利]一种电解蚀刻头和数控电解蚀刻系统及蚀刻方法

摘要

本发明提供了电解蚀刻头和数控电解蚀刻系统及蚀刻方法，电解蚀刻头包括刻头本体，刻头本体上具有多个贯穿其上下表面的通孔和多个金属触点；刻头本体的下表面具有凹陷部，多个金属触点的一端位于该凹陷部内。多个独立的金属触点，方便蚀刻过程中单独控制，蚀刻更效率更高。电解蚀刻系统包括电解蚀刻头，中央控制器，刻头控制器，电解液，高频脉冲电解电源，X,Y,Z轴三个电机，X,Y,Z轴三个电机驱动器；中央控制器分别通过向X,Y,Z轴电机驱动器发送控制指令控制X,Y,Z轴电机，X,Y,Z轴电机分别带动电解蚀刻头在X,Y,Z轴方向移动，刻头控制器控制多个金属触点的通断电。该系统结构简单，使用方便，生产成本低。

主权项

电解蚀刻系统，其特征在于：包括电解蚀刻头，中央控制器，刻头控制器，电解液，高频脉冲电解电源，X轴电机，X轴电机驱动器，Y 轴电机，Y轴电机驱动器，Z轴电机和Z轴电机驱动器；所述电解蚀刻头包括刻头本体，所述刻头本体上具有多个贯穿其上下表面的通孔和多个金属触点；所述刻头本体的下表面具有凹陷部，所述多个金属触点的一端位于该凹陷部内，多个金属触点的另一端位于刻头本体的上表面；所述中央控制器的X轴控制命令输出端与X轴电机驱动器的控制信号输入端连接，X轴电机驱动器的驱动信号输出端与X轴电机的控制命令输入端连接，X轴电机的输出端与电解蚀刻头连接，带动电解蚀刻头在X轴上移动；所述中央控制器的Y轴控制命令输出端与Y轴电机驱动器的控制信号输入端连接，Y轴电机驱动器的驱动信号输出端与Y轴电机的控制命令输入端连接，Y轴电机的输出端与电解蚀刻头连接，带动电解蚀刻头在Y轴上移动；所述中央控制器的Z轴控制命令输出端与Z轴电机驱动器的控制信号输入端连接，Z轴电机驱动器的驱动信号输出端与Z轴电机的控制命令输入端连接，Z轴电机的输出端与电解蚀刻头连接，带动电解蚀刻头在Z轴上移动；所述刻头控制器具有一个刻头触点控制信号输入端和多个刻头触点控制信号输出端，所述刻头触点控制信号输出端的数量与所述刻头本体上金属触点的数量相等，刻头控制器的刻头触点控制信号输入端与中央控制器刻头触点控制命令输出端连接，刻头控制器的刻头触点控制信号输出端与电解蚀刻头的信号输入端一一对应连接；刻头控制器用于控制电解蚀刻头中金属触点的通断电；所述电解蚀刻头用于在工件蚀刻面上进行蚀刻，电解蚀刻头与工件蚀刻面之间充满电解液。