[发明专利]双敏感源声表面波传感器有效
| 申请号： | 201410339943.7 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104101451A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 刘兴钊;舒琳;彭斌;张万里;王瑜;李川 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/25 | 分类号： | G01L1/25;G01K11/26 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种双敏感源的声表面波传感器，属于电子功能材料与器件技术领域。该传感器包括衬底基片，所述衬底基片为LGS衬底基片，衬底基片上设置有界面谐振器及AlN薄膜层，AlN薄膜层完全覆盖界面谐振器，AlN薄膜层上设置有表面谐振器，且表面谐振器在竖直方向的投影与界面谐振器的竖直投影重合，所述界面谐振器与表面谐振器皆为声表面波谐振器，声表面波谐振器中的金属薄膜电极的材质为耐高温金属。器件结构简单，能够同时对应力及温度进行有效监测，由于材质为LGS、AlN及耐高温金属，因而可适用于高温复杂环境，无源无线，稳定性强。本发明适用于对应力和温度同时进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感 表面波 传感器 | ||
【主权项】：
双敏感源的声表面波传感器，包括衬底基片，其特征在于，所述衬底基片为LGS衬底基片，衬底基片上设置有界面谐振器及AlN薄膜层，AlN薄膜层完全覆盖界面谐振器，AlN薄膜层上设置有表面谐振器，且表面谐振器在竖直方向的投影与界面谐振器的竖直投影重合，所述界面谐振器与表面谐振器皆为声表面波谐振器，声表面波谐振器中的金属薄膜电极的材质为耐高温金属。
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