[发明专利]电连接装置

摘要

本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括布线基板(14)、探针卡(19)以及电连接部(16)，该布线基板配置在吸盘顶部(21)的上方，形成有用于与电路检验器(11)连接的布线路(14a)；该探针卡具有探针基板(18)，其与布线基板隔有间隔，以一面与布线基板相对的方式配置，以与布线路(14a)相对应的方式形成有布线路(18e)；以及多个探针(18a)，其以与布线路(18e)连接的方式设于探针基板的另一面，能够分别与吸盘顶部上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)接触；该电连接部使布线路(14a)与布线路(18e)电连接，并且利用降低布线基板与探针基板之间的热传导的低热传导支承构件(16f、16g)进行连接。

主权项

一种电连接装置，该电连接装置具有工作台，该工作台用于将具有多个电极的被检查体保持在工作面上，并且对上述被检查体进行加热或冷却，该电连接装置用于使上述多个电极与电路检验器电连接，其特征在于，该电连接装置包括电路板、探针卡以及电连接器，该电路板配置在上述工作台的上方，形成有用于与上述电路检验器连接的第1导电路；该探针卡具有：探针基板，其与上述电路板隔有间隔，以一面与上述电路板相对的方式配置，以与上述第1导电路相对应的方式形成有第2导电路；以及多个探针，其以与上述第2导电路连接的方式设于上述探针基板的另一面，能够分别与上述工作台上的上述被检查体的上述多个电极接触；该电连接器用于使上述第1导电路与上述第2导电路电连接，上述电连接器包括：销构件，其用于使上述第1导电路与上述第2导电路电连接；支承体，其用于保持上述销构件；以及热传导降低部件，其设在上述电路板与上述探针基板之间，以用来减少上述电路板与上述探针基板之间的热传导，上述热传导降低部件具有热传导性低于上述支承体的热传导性的绝热构件，上述绝热构件以两端分别与上述电路板和上述探针基板抵接的方式配置，上述支承体以隔有间隔的方式配置于上述电路板和上述探针基板中的至少一者。