[发明专利]一种超长行程高加速高精密定位一维平台

摘要

本发明提供了一种超长行程高加速高精密定位一维平台，包括底座，直线电机动子，粗定位平台，压电致动器，高精密定位平台，第一直线电机定子，第一缓冲连接板，第二直线电机定子，第二缓冲连接板。粗定位平台通过压电致动器连接高精密定位平台，粗定位平台与所述超长行程直线电机定子连接，第一超长行程直线电机定子与第二超长行程直线电机定子串联连接，第一缓冲连接板与第二缓冲连接板通过串联连接来实现粗定位平台超长行程，第一超长行程直线电机定子通过第一缓冲连接板与大理石底座连接，第二缓冲连接板通过第二缓冲连接板与大理石底座连接。该超长行程高加速高精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更长行程高加速的精密定位问题。

主权项

一种超长行程高加速高精密定位一维平台，其特征在于，包括，底座(1)上安装有相串联的第一缓冲连接板(7)和第二缓冲连接板(9)，第一缓冲连接板(7)上安装有第一直线电机定子(6)，第二缓冲连接板(9)上安装有第二直线电机定子(8)，第一直线电机定子(6)与第二直线电机定子(8)串联连接，组成了超长行程电机直线电机定子，超长行程电机直线电机定子上通过轨道安装有粗定位平台(3)，粗定位平台(3)的中央安装有高精密定位平台(5)，粗定位平台(3)与高精密定位平台(5)之间通过压电致动器(4)相连接，粗定位平台(3)的下面安装有用于提供动力的直线电机动子(2)。