[发明专利]微流体诱导电渗计量泵的流动控制方法

摘要

微流体诱导电渗计量泵的流动控制方法，属于计量泵技术领域。其特征在于微泵T形微管的垂直管道与平行管道交接处嵌入半边不同性质的圆柱形障碍物，T形微管中采用MEMS工艺设置热式薄膜型质量流量传感器，流量传感电路通过同相放大电路和单片机配合连接，单片机信号处理后通过LCD液晶显示，单片机通过电压反馈电路与微泵入口配合连接。上述微流体诱导电渗计量泵的流动控制方法，ICEOF的应用实现了微通道内，无阀高效驱动效果；采用MEMS工艺设置热式薄膜型质量流量传感器，实现微通道内，流量精确测量；设计合理外围流量计量和反馈控制电路，实现了微泵流量的可控性输出。

主权项

 微流体诱导电渗计量泵的流动控制方法，其特征在于包括微泵（1），微泵（1）T形微管的垂直管道与平行管道交接处嵌入半边不同性质的圆柱形障碍物，在外加电场作用下诱导产生的电渗流实现流体驱动，T形微管中采用MEMS工艺设置热式薄膜型质量流量传感器，热式薄膜型质量流量传感器的加热电阻两侧各设置一个测温热敏电阻，流量传感电路（2）通过同相放大电路（3）和单片机（4）配合连接，单片机（4）信号处理后获得对应通道流量值通过LCD液晶（5）显示，实现流量计量；单片机（4）通过电压反馈电路（6）与微泵（1）入口配合连接，单片机（4）通过DA通道调节输出与所需流量值相对应的反馈电压值，将该电压值反馈到T型微泵的入口处作为激励电压，实现输入电压值的实时反馈控制，进而对T型管道内的流场流速和流量控制，完成流量反馈控制。