[发明专利]一种气浮导轨有效
申请号: | 201410153183.0 | 申请日: | 2014-04-16 |
公开(公告)号: | CN103899647A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 李金龙;胡松;赵立新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 成金玉;李新华 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种气浮导轨,结构为:基座为方形平板;导向条石为方形条石,导向条石具有下表面和导向面,导向条石下表面与基底工作面通过螺钉连接;导向板为方形板,导向板具有进气口等,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,导向板工作面与导向条石导向面平行,密封口进行密封;柔性铰链为工字型结构,柔性铰链具有上安装面和下安装面,柔性铰链上安装面与导向板安装面通过螺钉连接;承载板为方形板,承载板具有承载面、安装面等,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,承载板承载面与基座工作面平行,承载板安装面与柔性铰链下安装面通过螺钉连接,密封口进行密封。 | ||
搜索关键词: | 一种 导轨 | ||
【主权项】:
一种气浮导轨,其特征在于:所述气浮导轨含有基座、导向条石、导向板、柔性铰链、承载板,其中:基座为方形平板,基座上表面为工作面;导向条石为方形条石,导向条石具有下表面和导向面,导向条石下表面与基底工作面通过螺钉连接;导向板为方形板,导向板具有工作面、安装面、进气口、抽气口、密封口、节流孔、环形槽、真空槽、隔离槽;环形槽、真空槽和隔离槽位于导向板的工作面上,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,导向板工作面与导向条石导向面平行,密封口进行密封;柔性铰链为工字型结构,柔性铰链具有上安装面和下安装面,柔性铰链上安装面与导向板安装面通过螺钉连接;承载板为方形板,承载板具有承载面、安装面、进气口、抽气口、密封口、节流孔、环形槽、真空槽、隔离槽;环形槽、真空槽和隔离槽位于承载板的承载面上,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,承载板承载面与基座工作面平行,承载板安装面与柔性铰链下安装面通过螺钉连接,密封口进行密封。
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