[发明专利]一种极紫外脉冲发生调制器有效
| 申请号： | 201410109608.8 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103871832A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李保权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | H01J61/04 | 分类号： | H01J61/04 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种极紫外脉冲发生调制器，包括：电子源、调控栅极、聚焦电极和阳极靶；其中，电子源产生电子，调控栅极对电子源所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲；聚焦电极所形成的电场将电子脉冲聚焦；所述阳极靶加速电子脉冲，所述电子脉冲最终轰击阳极靶，生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm-200nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 脉冲 发生 调制器 | ||
【主权项】：
一种极紫外脉冲发生调制器，其特征在于，包括：电子源（1）、调控栅极（2）、聚焦电极（3）和阳极靶（4）；其中，所述电子源（1）产生电子，所述调控栅极（2）对所述电子源（1）所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲（5）；聚焦电极（3）所形成的电场将电子脉冲（5）聚焦；所述阳极靶（4）加速电子脉冲（5），所述电子脉冲（5）最终轰击阳极靶（4），生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm‑200nm。
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