[发明专利]基于阵列喷头电纺直写精度可变磁栅尺及制造装置及方法

摘要

本发明是一种基于阵列喷头电纺直写精度可变磁栅尺及制造装置及方法。基于阵列喷头电纺直写精度可变磁栅尺是通过阵列喷头电纺直写技术先直写规则排列的不导磁聚合物纤维，形成一层不导磁的薄膜作为基板，然后直写规则排列的混有硬磁物质颗粒的聚合物纤维，形成结构规律均匀分布的表面有磁性的薄膜作为磁性尺，在磁性薄膜上用录磁头录制磁波，从而制成磁栅尺。可根据被测精度的要求在安装测量磁栅尺时改变磁栅尺精度。又由于聚合物电纺薄膜具有很强的吸附性，因此电纺直写精度可变磁栅尺可吸附在被测工件上，随被测工件同步膨胀或收缩，对环境的改变有很强的适应性。阵列喷头电纺直写技术可高精度直写多根电纺沉积，在保证生产精度的前提下生产效率高。

主权项

一种基于阵列喷头电纺直写精度可变磁栅尺，其特征在于包括不导磁薄膜基板和磁性薄膜，磁性薄膜覆盖在不导磁薄膜基板上，并在磁性薄膜上录磁制成磁栅尺，该基于阵列喷头电纺直写精度可变磁栅尺的制造方法包括以下步骤：12）制作不导磁基板:即在阵列喷头近场电纺直写平台上通过阵列喷头近场电纺直写的方法沉积一定厚度不导磁聚合物形成的不导磁薄膜；13）覆盖磁性薄膜: 将聚合物中混杂高导磁性材料颗粒，通过阵列喷头近场电纺直写的方法在不导磁薄膜上覆盖一层磁性薄膜；14）录磁: 去除首尾两端，并完成录磁过程，最终形成的磁栅尺；上述精度可变磁栅尺具有均匀的弹性结构。