[发明专利]一种容栅位移传感器在审
| 申请号： | 201410093660.9 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN104913712A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 陈其良;陈赋;陈梅英;康永忠 | 申请（专利权）人： | 深圳市联思精密机器有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种直线位移和角位移栅状电极容栅位移传感器，在栅状电容两电极间充满油脂、胶体之类非气相的流动性介电物质，确保栅状电容电极间电介质环境的稳定性和均匀性，彻底解决了容栅位移传感器对使用环境的敏感，让容栅位移传感器在测量精度上和稳定性上产生一个突破，实现在不需要任何机械放大的情况下，稳定可靠地达到直进千分位或以上的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种容栅位移传感器，主要包括栅状发射电极组、栅状耦合电极组、接收电极和侦测电路，发射电极组和接收电极分别与侦测电路相连接；其特征在于：所述栅状发射电极组和接收电极制备在收发电极基板上，所述栅状耦合电极组制备在耦合电极基板上，收发电极基板与耦合电极基板相重叠，发射电极组和接收电极与耦合电极组绝缘隔离，耦合电极基板与收发电极基板可相对移动，收发电极基板与耦合电极基板之间填充有非气相的流动性介电物质。
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