[发明专利]晶片芯片的偏振分路旋转器和光电子器件以及控制晶片芯片上光学信号的偏振的方法

摘要

本发明涉及用于光学偏振分路旋转器的前端制程集成的材料结构。公开了晶片芯片的偏振分路旋转器、光电子器件及使用方法。所述晶片芯片的第一波导被配置成从光学器件接收光学信号并且传播所接收的光学信号的横电本征态。所述第二波导被配置成从所述第一波导接收所接收的光学信号的横磁本征态。所述第二波导包括分路器端、中间部分和旋转器端，其中所述分路器端包括多晶硅层、氧化硅层和氮化硅层，所述旋转器端包括单晶硅层、氧化硅层和氮化硅层，并且所述中间部分包括单晶硅层、氧化硅层、多晶硅层和氮化硅层。

主权项

一种晶片芯片的偏振分路旋转器，包括：所述晶片芯片的第一波导，其被配置成从光学器件接收光学信号；以及第二波导，其被配置成从所述第一波导接收所接收的光学信号的横磁本征态，所述第二波导包括分路器端、中间部分和旋转器端，其中所述分路器端包括多晶硅层、氧化硅层和氮化硅层，所述旋转器端包括单晶硅层、氧化硅层和氮化硅层，并且所述中间部分包括单晶硅层、氧化硅层、多晶硅层和氮化硅层。