[发明专利]一种超声显微镜分辨力测试及校准方法

摘要

本发明涉及一种超声显微镜分辨力测试及校准方法，适用于超声无损检测领域，可用于验证超声检测系统的横向和纵向缺陷检测能力，通过对超声显微镜检测结果进行校准使检测更为准确。本方法通过激光微纳技术在光学玻璃片上表面刻蚀了一系列微米级小孔，超声显微成像所能辨别的最少微孔尺寸即为横向检测分辨力，通过对标准量块纵截面进行超声显微测量计算像素补偿值实现横向校准。设计玻璃楔块试样，利用声时法进行厚度测量，所能测量的最薄水层厚度值即为纵向检测分辨力，将测量值与理论计算值进行分析求得线性拟合方程实现纵向校准。该方法操作简单，易于实现，解决了超声缺陷检测能力的客观评估问题，使超声显微镜的检测结果更准确可靠。

主权项

一种超声显微镜分辨力测试及校准方法，其特征在于：超声显微镜的检测分辨力包括横向分辨力和纵向分辨力。利用激光微纳加工技术在光学玻璃片上表面刻蚀了一系列微米级小孔,对其进行超声显微扫查成像，所能辨别的最小微孔尺寸即为系统的横向分辨力。针对超声显微镜的横向测量特性校准，通过对不同厚度的标准量块纵截面进行超声显微测量计算像素补偿值实现。同时设计玻璃楔块试样，利用声时法对两个楔块之间的水层厚度进行测量，所能测量的最薄水层的厚度值即为系统的纵向分辨力。对于纵向测量特性校准采用斜楔法对标准水层厚度进行测量，将测量值与理论计算水层厚度进行对比分析，求得线性拟合方程进行校准。