[发明专利]基于液晶狭缝波导的微环谐振腔型可调谐光滤波器

摘要

本发明公开了一种基于液晶狭缝波导的微环谐振腔型可调谐光滤波器，包括衬底、第一直波导、第二直波导、微环波导、第一电极、第二电极及上包层；第一直波导、和/或、第二直波导内设有狭缝结构，第一直波导及第二直波导分别设置在衬底的上表面；微环波导内设有狭缝结构，微环波导设置在衬底上，且微环波导位于第一直波导与第二直波导二者之间；第一电极设置在微环波导的内圆环区域，第二电极设置在微环波导的外圆环区域；上包层分别覆盖在第一直波导、第二直波导、微环波导、第一电极和第二电极上，以及上包层填充在狭缝结构内。本发明具有控制电压小、谐振波长的调谐范围大及结构简单的特点。

主权项

一种基于液晶狭缝波导的微环谐振腔型可调谐光滤波器，其特征在于，包括：衬底；第一直波导及第二直波导；所述第一直波导、和/或、所述第二直波导内设有狭缝结构，所述第一直波导及所述第二直波导分别设置在所述衬底上，且所述第一直波导与所述第二直波导相互平行；所述第一直波导与所述第二直波导的宽度是100nm‑1000nm；所述第一直波导与所述第二直波导的高度是100nm‑1000nm；微环波导；所述微环波导内设有狭缝结构，所述微环波导设置在所述衬底上，所述微环波导位于所述第一直波导与所述第二直波导二者之间；所述微环波导与所述第一直波导之间的间隔距离是10nm‑1000nm、和/或、所述微环波导与所述第二直波导之间的间隔距离是10nm‑1000nm；第一电极及第二电极；所述第一电极设置在所述微环波导的内圆环区域，所述第二电极设置在所述微环波导的外圆环区域；所述第一电极外接电压源及所述第二电极接地、或者、所述第二电极外接电压源及所述第一电极接地；上包层；所述上包层分别覆盖在所述第一直波导、所述第二直波导、所述微环波导、所述第一电极和所述第二电极上，以及所述上包层填充在所述狭缝结构内。