[发明专利]一种集成式多道能量收集微机械结构有效
| 申请号： | 201410048344.X | 申请日： | 2014-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN103787261A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 万能;黄见秋;尹奎波;孙立涛 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H02N1/08 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式多道能量收集微机械结构，包括晶圆衬底和能量收集单元；所述晶圆衬底的上表面上生长有下电极；所述能量收集单元为由多层薄膜构成的平面结构，由下至上依次包括第一绝缘介质层、驻极体薄膜层、第二绝缘介质层和导电电极层，所述能量收集单元通过立柱固定在晶圆衬底的上方、并形成悬臂梁结构；所述导电电极层为电磁波能量吸收提供低损耗载体通路，同时所述导电电极层与下电极形成电容结构。本发明结构基于集成思想，通过微机械制造手段将多种能量收集方式进行单片集成，可以适用于多种场合，具有存活系数高等优点；且本发明的原理和结构简单，可基于传统的半导体加工工艺制备，生产成本低，能够大面积制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 多道 能量 收集 微机 结构 | ||
【主权项】：
一种集成式多道能量收集微机械结构，其特征在于：包括晶圆衬底（4）和能量收集单元（1）；所述晶圆衬底（4）的上表面上生长有下电极（3）；所述能量收集单元（1）为由多层薄膜构成的平面结构，由下至上依次包括第一绝缘介质层（14）、驻极体薄膜层（13）、第二绝缘介质层（12）和导电电极层（11），所述能量收集单元（1）通过立柱（2）固定在晶圆衬底（4）的上方、并形成悬臂梁结构，自然状态时，能量收集单元（1）与下电极（3）位置平行；所述导电电极层（11）为电磁波能量吸收提供低损耗载体通路，同时所述导电电极层（11）与下电极（3）形成电容结构。
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