[发明专利]能量色散型荧光X射线分析装置有效
| 申请号： | 201410041382.2 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103969275B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 荒川智;熊泽克巳 | 申请（专利权）人： | 东亚DKK株式会社 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人： | 于宝庆,刘春生 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能量色散型荧光X射线分析装置，即使温度有变化，其也可准确鉴定从测定对象元素获得的特征X射线的波峰。一种能量色散型荧光X射线分析装置，其具备X射线源（1），其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线（A）；修正体（8），其通过激发X射线（A）产生能量E2的特征X射线作为修正X射线（C）；检测器（4），其在检测出所述激发X射线（A）及所述修正X射线（C）的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线（B）；波高分析器（5）；运算部（6）。运算部（6）根据基于能量E1的特征X射线的波峰顶点的波高值H1和基于能量E2的特征X射线的波峰顶点的波高值H2，修正能量值和波高值的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 色散 荧光 射线 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种能量色散型荧光X射线分析装置，其基于通过对试样照射激发X射线所产生的荧光X射线，分析所述试样中的测定对象元素，其特征在于，其具备：X射线源，其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线，修正体，其以遮挡从所述X射线源至所述试样的激发X射线的部分光束的方式设置，并通过激发X射线产生能量E2的特征X射线作为修正X射线，检测器，其在检测出所述激发X射线及所述修正X射线的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线，波高分析器，其将所述检测器的输出转换为以对应能量值的波高值为横轴、以计数值为纵轴的波谱，运算部，其根据从该波高分析器获得的波谱，求得所述试样中的测定对象元素的信息；其中，所述运算部，根据基于能量E1的特征X射线的波峰顶点的波高值H1，和基于能量E2的特征X射线的波峰顶点的波高值H2，修正能量值和波高值的关系，将与试样中的测定对象元素的能量Ex的特征X射线对应的波高值Hx的波峰，鉴定为基于所述试样中的测定对象元素的波峰。
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