[发明专利]硬度试验机

摘要

本发明提供一种使利用由低倍率物镜取得的试验片的图像而设定的试验位置的设定精度提高的硬度试验机。控制部（70）作为功能性结构，具有试验位置设定部（71），其用于在试验片的表面设定试验位置；边缘检测部（72），其检测出通过各物镜取得的图像中的试验片（100）的形状外缘；修正量算出部（74），其利用通过高倍率物镜取得的窄范围图像计算用于修正试验位置的修正量；以及试验位置修正部（75），其将修正量算出部（74）算出的修正量应用到全部试验位置来执行试验位置的修正。

主权项

一种硬度试验机，其具有：载置台，所述载置台载置试验片，并在XY方向上对该试验片进行定位；升降机构，所述升降机构使所述载置台在Z方向上移动；压头，所述压头用于在所述试验片的表面形成压痕；负载机构，所述负载机构通过在试验位置将所述压头按压到所述试验片的表面而将试验力赋予给所述压头；倍率不同的多个物镜，所述多个物镜用于观察所述试验片的形状和形成在所述试验片的表面上的压痕；转换构件，所述转换构件支承所述压头和所述物镜，且使所述压头或所述物镜的某一个向与所述试验片相对的位置移动；以及显示部，所述显示部显示通过所述物镜取得的图像，所述硬度试验机的特征在于，多个所述物镜包括：第一物镜，所述第一物镜用于取得所述试验片的宽范围图像；和第二物镜，所述第二物镜的倍率比所述第一物镜的倍率高，用于取得所述试验片的窄范围图像，所述硬度试验机具有：边缘检测部，所述边缘检测部从通过所述物镜取得的图像检测出所述试验片的形状外缘；试验位置设定部，所述试验位置设定部在通过所述第一物镜取得的宽范围图像上基于自通过所述边缘检测部检测出的第一形状外缘的距离L而设定多个试验位置；位置调整部，所述位置调整部对载置有所述试验片的所述载置台的位置进行调整，以使得通过所述试验位置设定部设定的多个试验位置中的一个位置成为所述宽范围图像的中心；修正量算出部，所述修正量算出部算出在窄范围图像上基于该试验片的形状外缘确定的应试验位置与所述一个位置在所述XY方向上的差分，作为用于修正所述试验位置设定部所设定的试验位置的修正量，所述窄范围图像是在利用所述位置调整部进行位置调整后，利用所述转换构件使所述第二物镜向与所述试验片相对的位置移动，通过所述第二物镜取得的；以及试验位置修正部，所述试验位置修正部通过将所述修正量算出部所算出的修正量应用到由所述试验位置设定部设定的全部试验位置，来修正试验位置。