[发明专利]基于波长移相法检测平面间平行度的方法

摘要

基于波长移相法检测平面间平行度的方法，涉及光学检测技术领域，解决现有采用移相干涉技术检测平面间平行度时，由于存在机械应力的变化，导致引入误差的问题，本发明采用经平面干涉检测装置发出的光束由移相干涉装置中信息采集处理系统处理，并采用四步平均算法逐点获得半反半透平面和全反射平面之间的倾斜量，并取倾斜量的最大值；将倾斜量的最大值代入相应公式，获得两平面间的平行度，判断平行度的值是否大于10^-6弧度值，如果是，根据倾斜量的最大值调整全反射平面，如果否，输出两平面之间的平行度。本发明借助于波长移相检测方法的高灵敏性可以使两面间平行度的检测达到十分之一到百分之一个微弧度的量级。

主权项

1.基于波长移相法检测平面间平行度的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、计算机（1）控制驱动器（2）使可调谐激光器（3）发出的激光束经分束器（4）后被准直物镜（5）准直为平行光束，所述平行光束入射到半反半透平面（6）和全反射面（7）上，经过半反半透平面（6）和全反射平面（7）反射的光束再次经过准直物镜（5）和分束器（4）后被第二准直物镜（8）准直；所述准直光束被信息采集处理系统（9）采集；步骤二、所述计算机（1）根据接收信息采集处理系统（9）采集的信号，采用四步平均算法逐点获得半反半透平面（6）和全反射平面（7）之间的倾斜量，并取倾斜量的最大值；步骤三、将步骤二中获得的倾斜量的最大值代入公式中，式中，α为半反半透平面（6）和全反射平面（7）间的平行度，为视场内相位差的最大值，λ为激光器出射光束的波长，D为视场直径；获得半反半透平面（6）和全反射平面（7）间的平行度，判断所述平行度的值是否大于10-6弧度值，如果是，根据倾斜量的最大值调整全反射平面（7），执行步骤一，如果否，执行步骤四；步骤四、计算机输出半反半透平面（6）和全反射平面（7）之间的平行度。