[发明专利]用于具有光学读出的位移传感器的闭合环路控制技术在审
| 申请号： | 201380053313.7 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN104884915A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·迪安·艾文森;马修·雷蒙·克里斯滕森;凯撒·西奥多·加西亚;尼尔·艾伦·霍尔;艾登·古克鲁·奥纳兰;詹姆斯·科埃·施利克;艾哈迈德·札塔利 | 申请（专利权）人： | 硅音震有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01V1/18 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 美国德克萨*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种装置，包括：壳体；在壳体内可移动的校样质量体；安装在壳体和校样质量体之一上的光学元件；在壳体和校样质量体中的另一个之上的反射元件；配置为照亮栅格和镜子的光源；以及一个或多个探测器，配置为探测通过从反射元件和衍射元件入射的光并且生成指示着校样质量体和壳体的相对位移的位移信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 光学 读出 位移 传感器 闭合 环路 控制 技术 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：壳体；在所述壳体内可移动的校样质量体；以及光学传感器，配置用于生成指示着校样质量体和壳体的相对位移的位移信号。
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