[发明专利]装备有具有温度管理的灯头的基板处理系统

摘要

在此提供处理基板的设备。在一些实施方式中，在基板处理中所使用的灯头包括具有轮廓表面的单块构件；位于轮廓表面中的多个反射腔，其中每一个反射腔都具有作为反射镜或接收灯的可替换反射镜的形状；和多个灯通道，其中每一个灯通道都从多个反射腔之一延伸至单块构件中。

主权项

1.一种在基板处理中使用的灯头，所述灯头包括：单块构件，所述单块构件具有上方轮廓表面，其中所述轮廓表面被配置为与使处理容积与外部容积分离的拱形结构的轮廓外表面相匹配，以促进沿着所述拱形结构的半径的均匀加热和/或热移除，其中所述单块构件是具有中央开口的环形环且被配置为允许基板支撑轴穿过所述中央开口；多个反射腔，所述反射腔位于所述轮廓表面中，其中每一个反射腔都具有作为反射镜或接收灯的可替换反射镜的形状；和多个灯通道，其中每一个灯通道都从所述多个反射腔之一延伸至所述单块构件中，使得所述多个灯通道的每一个灯通道的方向平行于所述单块构件的至少一个侧边或垂直于所述单块构件的顶部或底部，其中所述单块构件被配置为允许所述灯头起散热器的作用且在基板处理期间促进热移除。