[实用新型]基于光纤布拉格光栅的甲烷浓度检测结构

摘要

本实用新型公开了一种基于光纤布拉格光栅的甲烷浓度检测结构，包括基板和设置在基板上的支座，支座上设置有与基板延伸方向相平行的悬臂梁，基板上设置有光源，悬臂梁包括上变形层和与上变形层的热膨胀系数不同的下变形层，下变形层的上表面与上变形层的下表面相连接，下变形层的底面设置有沿悬臂梁的长度方向布设的第一光纤布拉格光栅，第一光纤布拉格光栅通过第一传输光纤与光源连接，上变形层的上表面设置有由电热丝制成的加热层，加热层的上表面设置有薄膜层，薄膜层的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层。该甲烷浓度检测结构结构简单、使用方便、生产成本低、可组成传感矩阵，便于推广使用。

主权项

基于光纤布拉格光栅的甲烷浓度检测结构，其特征在于：包括基板（1）和设置在基板（1）上的支座（2），所述支座（2）上设置有与基板（1）延伸方向相平行的悬臂梁（3），所述基板（1）上设置有光源（4），所述悬臂梁（3）包括上变形层（3‑1）和与上变形层（3‑1）的热膨胀系数不同的下变形层（3‑2），所述下变形层（3‑2）的上表面与上变形层（3‑1）的下表面相连接，所述下变形层（3‑2）的底面设置有沿悬臂梁（3）的长度方向布设的第一光纤布拉格光栅（9），所述第一光纤布拉格光栅（9）通过第一传输光纤（5）与光源（4）连接，所述上变形层（3‑1）的上表面设置有由电热丝制成的加热层（11），所述加热层（11）的上表面设置有薄膜层（12），所述薄膜层（12）的上表面设置有用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层（8）。