[实用新型]用于多晶硅铸锭炉的温度均衡装置及多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201320851086.X | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203715786U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 朱海波 | 申请（专利权）人： | 阿特斯（中国）投资有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于多晶硅铸锭炉的温度均衡装置，其包括用以测量多晶硅铸锭炉内坩埚底部的边角位置处温度的边角热电偶、用以测量坩埚底部的中心位置处的中心热电偶、与边角热电偶和中心热电偶相连接的控制仪表、设置于坩埚下方以均衡坩埚底部温度的气流通道、连接气流通道的气体供应装置、以及设置在气流通道和气体供应装置之间的质量流量计。所述控制仪表与质量流量计相连接以控制气体流量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 铸锭 温度 均衡 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅铸锭炉的温度均衡装置，其特征在于：所述温度均衡装置包括用以测量多晶硅铸锭炉内坩埚底部的边角位置处温度的边角热电偶、用以测量坩埚底部的中心位置处的中心热电偶、与边角热电偶和中心热电偶相连接的控制仪表、设置于坩埚下方以均衡坩埚底部温度的气流通道、连接气流通道的气体供应装置、以及设置在气流通道和气体供应装置之间的质量流量计，所述控制仪表与质量流量计相连接以控制气体流量。
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