[实用新型]石墨烯薄膜的制备设备

摘要

本实用新型揭示了一种石墨烯薄膜的制备设备，包括工作腔，工作腔设有碳源入口、残余气体出口；工作腔内设有衬底、筛选电场上极板、第一筛选电场电极、第二筛选电场电极、加速电场上极板、加速电场下极板、第一加速电场电极、第二加速电场电极、可移动加热板；第一、第二筛选电场电极分别与筛选电场上极板连接；第一、第二加速电场电极分别设置于残余气体出口的两侧，第一、第二加速电场电极分别与加速电场下极板连接；衬底放置于可移动加热板上，可移动加热板置于加速电场下极板上、加速电场上极板与加速电场下极板之间。本实用新型通过控制筛选电场，可有效地将碳离子与其他负离子分离，排除影响石墨烯质量的其他负离子的干扰。

主权项

一种石墨烯薄膜的制备设备，其特征在于，所述制备设备包括工作腔，工作腔设有碳源入口、残余气体出口；所述工作腔内设有衬底、筛选电场上极板、第一筛选电场电极、第二筛选电场电极、加速电场上极板、加速电场下极板、第一加速电场电极、第二加速电场电极、可移动加热板；所述第一筛选电场电极、第二筛选电场电极分别设置于碳源入口的两侧，第一筛选电场电极、第二筛选电场电极分别与筛选电场上极板连接，形成筛选电场区域；所述第一加速电场电极、第二加速电场电极分别设置于残余气体出口的两侧，第一加速电场电极、第二加速电场电极分别与加速电场下极板连接；所述衬底放置于可移动加热板上，可移动加热板置于加速电场下极板上、加速电场上极板与加速电场下极板之间。