[实用新型]面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台

摘要

本实用新型涉及一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，属于精密、超精密加工领域。包括由平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元，三自由度装置提供Z轴移动、绕Z轴转动和绕Y轴转动的三个运动自由度，同时提供加工时所需要的载荷力；力传感器检测工件（金刚石工具头）在加工过程中所受到的作用力，声发射传感器检测加工过程中材料去除的动态过程。可用于规则金刚石工具头的修复和光整加工，加工平台具有结构紧凑，操作简单，效率高，适用性强等优点。还能够通过多自由度的调整对工件进行精密加工，通过传感器控制加工过程，从而保证工件加工表面的平面度、提高工件的加工效率和表面质量。

主权项

一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，包括平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元，其特征在于：所述三自由度装置分别提供Z轴转动、Y轴转动、Z轴移动，三自由度装置提供工件所需要的加工位置和向下的载荷力；所述力传感器与声发射传感器控制单元包括力传感器（13）及声发射传感器（25），由连接环（12）、法兰（14）和工具头加持单元（11）固定，力传感器（13）通过连接环（12）、法兰（14）测量工件在加工过程中所受到的作用力；声发射传感器（25）与金刚石工具头（10）接触，监控加工时材料去除动态过程；所述力传感器与声发射传感器控制单元连接三自由度传动装置与工具头加持单元。