[实用新型]探针卡及探针卡接口和集成电路元件测试系统有效
申请号: | 201320602044.2 | 申请日: | 2013-09-28 |
公开(公告)号: | CN203658412U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 徐家梧 | 申请(专利权)人: | 嘉兆科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/28 |
代理公司: | 广东世纪专利事务所 44216 | 代理人: | 曾忠群 |
地址: | 美国圣克拉拉3080奥*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本实用新型涉及一种探针卡及用于连接探针头和线路的探针卡接口和集成电路元件测试系统。探针卡接口包括一个特性阻抗控制部分用于连接探针头上第一组探针和线路。特性阻抗控制部分用于控制第一组探针的阻抗。探针卡接口包括一个印刷电路板(PCB),用以连接探针头上第二组探针和线路。印刷电路板还为第二组探针提供至少一个电源或地。在一些实施例中,印刷电路板包括导电层一和导电层二及其所夹柔性基层。导电层一接地,导电层二连接到线路上的电源。 | ||
搜索关键词: | 探针 接口 集成电路 元件 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种探针卡,其特征包括:一线路,其上有大量信号线;一探针头,包含大量探针用以测试被测元件;一种接口,用以连接包含大量第一组探针的探针头和包括大量信号线的线路,所述接口包括一个导电层或一通电/接地部分,导电层或通电/接地部分连接到第二组探针,第二组探针为被测元件提供通电和接地。
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