[实用新型]低量程溅射薄膜型测力传感器有效
| 申请号： | 201320558902.8 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN203490009U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 黎明诚;戚龙 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低量程溅射薄膜型测力传感器，包括弹性体、底座、盖板和连接螺杆，弹性体的中部为薄片，薄片上溅射有薄膜电阻应变敏感单元；底座中心为凹陷结构，底座和弹性体固为一体，且弹性体中部可在底座的凹陷处产生形变；连接螺杆的一端固定在弹性体上，另一端作为拉力或压力的一个施力端。本实用新型的应变计采用通过半导体制程工艺，采用溅射镀膜的方式，制成惠斯通电桥电路，产品尺寸小，精度高、寿命长，防潮防湿性大大增加，利于传感器在恶劣环境下使用，从而拓展了溅射技术在低量程力学量测量中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 量程 溅射 薄膜 测力 传感器 | ||
【主权项】：
一种低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：包括弹性体(1)、底座(2)、盖板(3)和连接螺杆(4)，所述的弹性体(1)的中部为薄片，所述的薄片上溅射有薄膜电阻应变敏感单元(7)；所述的底座(2)中心为凹陷结构，底座(2)和弹性体(1)固为一体，且弹性体(1)中部可在底座(2)的凹陷处产生形变；所述连接螺杆(4)的一端固定在弹性体(1)上，另一端作为拉力或压力的一个施力端。
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