[实用新型]用于旋涂机的压力检测系统、罐体及旋涂机有效
| 申请号： | 201320543082.5 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN203648806U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 赵久嵩;甄宗沛;苏云雷;安礼余 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;G01L19/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 赵燕青 |
| 地址： | 215025 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于旋涂机的压力检测系统，以及包括这种压力检测系统的罐体和旋涂机。所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体，所述压力检测系统包括：压力检测装置和控制系统，其中，所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置，并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内；所述控制系统用于控制压力检测装置的启动，以及控制旋涂机的工作和停止。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋涂机 压力 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种用于旋涂机的压力检测系统，所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体，其特征在于： 所述压力检测系统包括：压力检测装置和控制系统， 其中，所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置，并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内； 所述控制系统用于控制压力检测装置的启动，以及控制旋涂机的工作和停止。
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