[实用新型]基板检测装置有效
| 申请号： | 201320533042.2 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203396719U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 谢少华;侯智;吴代吾;杨子衡;胡岳林;王俊 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 230011 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板检测装置，包括：光源单元，用于向待检测的基板发射检测光；光线检测器，设置在待检测基板的出射光线侧，用于检测出射光线的光强；分析单元，与所述光线检测器相连接，用于根据出射光线的光强，来确定所述待检测基板是否破损。本实施例的基板检测装置通过向待检测基板发射检测光，分析经过基板的出射光线的光强来确定基板是否破损，相比较于现有技术而言，提高了检测的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括：光源单元，用于向待检测的基板发射检测光；光线检测器，设置在待检测基板的出射光线侧，用于检测出射光线的光强；分析单元，与所述光线检测器相连接，用于根据出射光线的光强来确定所述待检测基板是否破损。
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