[实用新型]用于清洗工艺腔的背板以及工艺腔的清洗装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于清洗工艺腔的背板以及设有该背板的工艺腔的清洗装置，属于显示技术领域。解决了现有技术中位于工艺腔的角落的薄膜难以被清洗干净的问题。该背板呈矩形，所述背板的中间设置有进气口，所述背板的四个角也均设置有进气口。该工艺腔的清洗装置包括气体发生器和上述的背板，所述气体发生器的出气口与所述背板上的各个进气口相连通。本实用新型应用于CVD工艺腔的清洗。

主权项

一种用于清洗工艺腔的背板，所述背板呈矩形，所述背板的中间设置有进气口，其特征在于：所述背板的四个角也均设置有进气口。