[实用新型]一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构有效
| 申请号： | 201320199023.0 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203223611U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K27/02 | 分类号： | F16K27/02 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，包括驱动部分和门阀部分，驱动部分包括连接在一起的联轴器和驱动电机，且联轴器和驱动电机安装在真空室顶板的上方；门阀部分包括相互配合的阀体和阀板，以及安装在真空室顶板下方且与联轴器连接的传动轴，阀板与传动轴通过螺纹连接的方式连接在一起，阀体上靠近阀板的一面安装有电磁线圈，且电磁线圈的外部设有将电磁线圈与阀板隔开的护板；真空室顶板上设有光电开关，阀板上安装有定位块。具有上述特殊结构的该种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构通过在阀体内部均布安装电磁线圈，即使阀板产生了一定量的变形，在电磁阀体的吸附下，依旧可是使其保证原有的状态，从而保证了密封性的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 电磁 门阀 机构 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，其特征在于：所述的电磁门阀机构包括驱动部分和门阀部分，所述的驱动部分包括连接在一起的联轴器（8）和驱动电机（9），且联轴器（8）和驱动电机（9）安装在真空室顶板（6）的上方；所述的门阀部分包括相互配合的阀体（1）和阀板（4），以及安装在真空室顶板（6）下方且与联轴器（8）连接的传动轴（5），所述的阀板（4）与传动轴（5）通过螺纹连接的方式连接在一起，所述的阀体（1）上靠近阀板（4）的一面安装有电磁线圈（2），且电磁线圈（2）的外部设有将电磁线圈（2）与阀板（4）隔开的护板（3）；所述的真空室顶板（6）上设有光电开关（7），所述的阀板（4）上安装有定位块（10）。
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