[实用新型]一种宏观检查装置有效
申请号: | 201320140952.4 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203216700U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 王磊;邱勇;费国东 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺显示技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 彭秀丽 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种宏观检查装置,其包括暗室(1)和观察室(8),所述观察室(8)内设置用于放置基板的载台(4),以及安装于所述观察室(8)顶部的光源(5),所述观察室(8)与所述暗室(1)之间设置观察窗(2),所述观察窗(2)处安装抗反光透明玻璃。该宏观检查装置解决了现有用于检查色斑不均的宏观检查设备不能防止检查人员污染基板的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 宏观 检查 装置 | ||
【主权项】:
一种宏观检查装置,其包括暗室(1)和观察室(8),所述观察室(8)内设置用于放置基板的载台(4),以及安装于所述观察室(8)顶部的光源(5),所述观察室(8)与所述暗室(1)之间设置观察窗(2),其特征在于:所述观察窗(2)处安装抗反光透明玻璃。
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