[实用新型]一种涂布系统有效
| 申请号： | 201320135864.5 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN203140244U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 余忠兴;徐先华;尹冬冬;李志强;王志强;郑翔;王文须 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台，所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方，所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的一端移动至另一端的刮刀，其中，所述预涂布板的另一端设置有向上延伸的第一挡板。通过在预涂布板上设置第一挡板可以防止利用刮刀刮出预涂布板上的光刻胶时光刻胶残留在预涂布板的边缘上，从而可以防止光刻胶被吸入抽真空系统的真空管路中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 | ||
【主权项】：
一种涂布系统，所述涂布系统包括喷头和依次排列的预涂布平台、废液池和涂布平台，所述喷头能够从所述预涂布平台的上方移动至所述涂布平台的上方，所述预涂布平台包括安装平台、设置在所述安装平台上表面上的预涂布板和能够从所述预涂布板的第一端移动至第二端的刮刀，其特征在于，所述预涂布板的第二端设置有向上延伸的第一挡板。
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