[实用新型]多管快速合成磷化铟多晶磷泡装置

摘要

本实用新型涉及一种多管快速合成磷化铟多晶磷泡装置。传统合成InP多晶料的方法有:水平布里奇曼法(HB)，水平温度梯度凝固法(HGF)，溶质扩散合成技术(SSD)等。这些方法的缺点是合成时间长，合成效率低，且在制备单晶时需分步骤进行。本实用新型包括一个圆柱形的石英容器和多根石英导气管。多根导气管垂直贯穿圆柱形容器底部，且对称分布于，以圆柱形容器底部圆的圆心为圆心，底部圆半径的2/3长度为半径的圆周上。导气管的上部、下部底部设置有多干个导气小孔。本实用新型具有合成磷化铟多晶速度快，均匀性高，纯度高等优点，解决了炸泡和残留磷较多等问题。

主权项

多管快速合成磷化铟多晶磷泡装置,包括一个大圆柱体容器、一个小圆柱型装卸口和多根导气管,其特征在于:所述的大圆柱体容器顶部设有小圆柱型装卸料口，底部对称分布着多根导气管；所述多根导气管对称分布于，以大圆柱体容器下底面的圆心为圆心，底部圆半径的2/3长度为半径的圆周上；多根导气管垂直贯穿大圆柱体容器下底面，即分为容器内部的内管和容器外部的外管；所述导气管内管末端封闭，上部设有多个导气小孔；所述导气管外管末端开放，下部设有多个导气小孔。