[实用新型]一种防碎片装置

摘要

本实用新型提供一种防碎片装置。现有技术未设置防碎片装置，在硅片未在承载模块中插置好时就移动承载模块造成大量碎片，通过人工监测没插置好的硅片存在着可靠性差及劳动强度大等问题。本实用新型的防碎片装置用于防止未正常插置在承载模块的预设槽位中的硅片在承载模块移动时碎片，包括设置在承载模块侧边的检测模块，其检测位置高于正常设置在预设槽位中的硅片的顶部，且在检测位置上检测到硅片时输出触发信号；在接到检测模块所输出的触发信号时控制停止承载模块的移动的控制模块；以及在接收到检测模块所输出的触发信号时发出警示信号的警示模块。本实用新型可防止未正常插置的硅片在承载模块移动时碎片，可大幅降低碎片率、制造成本和劳动强度。

主权项

一种防碎片装置，用于防止未正常插置在承载模块的预设槽位中的硅片在承载模块移动时碎片，其特征在于，包括：检测模块，设置在承载模块侧边，其检测位置高于正常设置在预设槽位中的硅片的顶部，且其在检测位置上检测到硅片时输出触发信号；控制模块，在接到检测模块所输出的触发信号时控制停止承载模块的移动；以及警示模块，在接收到检测模块所输出的触发信号时发出警示信号。