[发明专利]一种工件在蚀刻区做往复运动的蚀刻方法及装置

摘要

本发明涉及一种工件在蚀刻区做往复运动的蚀刻方法及装置，用一种可以往复运动的传送系统，在向工件喷射蚀刻剂的同时，带动工件在蚀刻区往返移动，用往返遍数及速度控制蚀刻加工的进程，使装置适合蚀刻各种材料厚度，直到蚀刻达到预定的程度为止。这种方法及装置，能使被蚀刻图形不同边缘蚀刻效果一致而提高蚀刻质量，并可将装置的长度缩短到：2×工件长度+蚀刻剂喷射管组长度或更短。本发明的方法及装置能蚀刻材料厚度为任意大小的工件，并能获得好于现有大型单向工件传送装置的蚀刻质量，特别适合工件长度有限的应用领域。

主权项

一种工件在蚀刻区做往复运动的蚀刻方法，其特征在于：在向工件喷射蚀刻剂的同时，用可实现往复运动的工件传送系统带动工件在喷射蚀刻区内往返运动，通过往返遍数及速度控制蚀刻加工的进程，使装置适合蚀刻各种材料厚度，直到蚀刻达到预定的程度为止，步骤为：⑴将工件传送到蚀刻区起点端，并继续向前传送，工件在蚀刻区移动的同时进行蚀刻；⑵当工件移动到蚀刻区终点端后，将工件反向传送向蚀刻区起点端，工件在蚀刻区移动的同时进行蚀刻；⑶自起点端和终点端分别再次向前和向后往返传送工件，工件在蚀刻区移动的同时进行蚀刻；⑷待工件被蚀刻完毕后，将工件从蚀刻区传送到所述蚀刻装置水洗或下料区。