[发明专利]一种内孔涂层金刚石膜的夹具和工艺

摘要

本发明公开了一种内孔模具沉积金刚石薄膜的夹具及利用该夹具沉积金刚石膜的工艺，通过清洗干燥、预处理、抛研工件、用热丝CVD沉积设备形核、生长等步骤沉积涂层金刚石膜。本发明沉积的金刚石膜具有以下特点：维氏硬度值约为HV9000，金刚石薄膜涂层形貌连续、均匀、致密，散热性能优良。

主权项

一种内孔涂层金刚石膜的夹具，其特征在于：它包括V型铜垫板、电极杆、热丝托杆、热丝拉杆、弹簧支架、供气管道以及穿过模具内孔的数根热丝，所述热丝平行布置在热丝托杆和热丝拉杆上，所述热丝托杆和热丝拉杆分别与电极杆相连，所述热丝的一端固定在热丝拉杆的热丝槽中，另一端固定在弹簧支架的弹簧上，所述弹簧支架与水平面成30°的夹角，所述弹簧支架一端通过陶瓷套安装在热丝托杆上，另一端通过陶瓷套安装有一弹簧，所述V型铜垫板设置在热丝的正下方，且所述的V型铜垫板的V型槽中心线与热丝平行，所述V型铜垫板的底部与基片台连接在一起。