[发明专利]表面检测装置

摘要

本发明提供了一种表面检测装置，用于显示面板上器件的表面检测，其中所述表面检测装置包括超声换能检测单元，用于向待检测表面发出超声波，以及用于获得所述超声波到达所述待检测表面后反馈的反馈信号；处理单元，用于根据所述反馈信号计算所述待检测表面的位置。本发明所述表面检测装置，可以用于隔垫物的精确检测和用于液晶残量的监控。

主权项

一种表面检测装置，用于显示面板上器件的表面检测，其特征在于，所述表面检测装置包括：呈阵列分布的超声换能检测单元，用于利用超声换能原理，在处于发射状态时，向待检测表面发出超声波，使超声波在同一时间到达器件表面的预定聚焦点，以及在处于接收状态时，用于获得所述超声波到达所述待检测表面后反馈的反馈信号；扫描转换单元，用于使各个所述超声换能检测单元对待检测表面以角度变化或在预定深度范围进行电子扫描；处理单元，用于根据各超声换能检测单元对待检测表面以角度变化或在预定深度范围进行电子扫描所获得的反馈信号进行累加，根据所述反馈信号计算所述待检测表面的位置，以及用于根据扫描后获得的反馈数据，计算所述待检测表面的表面轮廓；其中所述处理单元通过计算所述反馈信号的接收时间与所述超声波发出时间的时间差，计算所述待检测表面的位置，且用于计算所述时间差的反馈信号为所接收反馈信号中幅值最大的信号；其中，当所述扫描转换单元用于对待检测表面在预定深度范围进行电子扫描时，采用步进电机进行定速扫描，使所述超声换能检测单元对待检测表面进行检测时的预定聚焦点从所述待检测表面定速向内部推移，间隔预定距离移动，直至使预定聚焦点位置移动至所述器件的底面；所述处理单元根据所述定速扫描，在每一移动位置进行检测，获得多张检测扫描图像，解释该多张扫描图像，生成干涉波形，根据干涉波形图像中两点间生成干涉波形时的距离和预定聚焦点定速移动的距离，计算出待检测表面的总高度。