[发明专利]起光学作用的带有透明覆盖层的层系统及其制造方法

摘要

本发明涉及一种起光学作用的带有透明覆盖层的层系统及其制造方法，其中层系统布置在基底S上且包括至少带有功能层的功能层排列以及布置在其上的带有至少一个由介电的含有硅和氧的材料构成的覆盖层DS、DS'、DS''的覆盖层排列。为了在不带有在光学的功能性和机械与化学稳定性上的损失的情况下改进层系统的耐湿度，覆盖层DS、DS'、DS''含有硅、钛、氧、碳以及可选地含有氢作为主要的组成部分。

主权项

起光学作用的层系统，所述层系统布置在基底（S）上并且包括至少带有功能层的功能层排列以及布置在所述功能层排列上的覆盖层排列，该覆盖层排列带有至少一个由含有硅和氧的介电材料构成的覆盖层（DS、DS'、DS''），其特征在于，所述覆盖层（DS、DS'、DS''）含有硅、钛、氧、碳以及可选地含有氢作为主要的组成部分。