[发明专利]一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置无效
| 申请号： | 201310689053.4 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103698070A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 徐登峰;程嘉;许岩;王兴阔;张旭光;王珂晟;成荣;刘涛 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01M13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置，旨在提供一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力大小及晶片脱附时间的装置，包括真空腔室、静电卡盘(10)、测量系统(14)和动力系统；所述静电卡盘设于真空腔室内；所述测量系统设于真空腔室内，所述测量系统位于所述静电卡盘的下方；所述动力系统安装在所述真空腔室上，所述动力系统用于带动测量静电卡盘移动，使所述测量系统与静电卡盘产生相对运动。传统的测量方式，由于晶片上方等离子体有效作用面积的损失，导致在等离子体环境下静电力测量误差较大，本测量装置将力传感器设置在晶片的下方，克服了传统测量方式的缺点，可广泛应用于半导体产业静电卡盘装置的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 吸附力 时间 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置，其特征在于，包括：真空腔室；静电卡盘(10)；所述静电卡盘设于真空腔室内；测量系统(14)，所述测量系统设于真空腔室内，所述测量系统位于所述静电卡盘(10)的下方；和动力系统，所述动力系统安装在所述真空腔室上，所述动力系统用于带动测量静电卡盘移动，使所述测量系统与静电卡盘产生相对运动。
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