[发明专利]俯仰可调的二维运动平台

摘要

本发明公开了一种俯仰可调的二维运动平台，解决了现有的倒装芯片键合机的工作效率低和操作工作强度大的问题。包括在大理石台面（1）上设置有XY平台（2），在XY平台（2）的上方设置有俯仰调节直角三角板（3），在俯仰调节直角三角板（3）的直角处底面上设置有固定支柱（4）和气垫，在两个锐角处分别设置有调节螺母和气垫，气垫和大理石台面之间形成气浮面保证了姿态和XY运动的互不影响。本发明保持了光学探头姿态不变。提高了倒装芯片键合机的工作效率。

主权项

一种俯仰可调的二维运动平台，包括大理石台面（1），在大理石台面（1）上设置有XY平台（2），其特征在于，在XY平台（2）的上方设置有俯仰调节直角三角板（3），在俯仰调节直角三角板（3）的直角处底面上设置有固定支柱（4），在固定支撑柱（4）的底端连接有固定支撑柱气垫（5），在俯仰调节直角三角板（3）的一锐角处设置有X向调节螺母（10），在俯仰调节直角三角板（3）的另一锐角处设置有Y向调节螺母（12），X向调节螺杆（6）的上端与X向调节螺母（10）螺接在一起，X向调节螺杆（6）的下端连接有X向调节螺杆气垫（7），Y向调节螺杆（8）的上端与Y向调节螺母（12）螺接在一起，Y向调节螺杆（8）的下端连接有Y向调节螺杆气垫（9），固定支撑柱气垫（5）、X向调节螺杆气垫（7）和Y向调节螺杆气垫（9）均活动设置在大理石台面（1）上，在X向调节螺杆（6）上连接有X向调节推杆（11），在Y向调节螺杆（8）上连接有Y向调节推杆（13），在俯仰调节直角三角板（3）的底面上设置有弹性片支撑座（16），在弹性片支撑座（16）上设置有滚轮支撑轴（17），在滚轮支撑轴（17）上设置有滚轮（18），长方形弹性片（15）的一端活动设置在弹性片支撑座（16）的滚轮（18）上，长方形弹性片（15）的另一端通过固定螺丁（14）与俯仰调节直角三角板（3）的底面固定连接在一起，在俯仰调节直角三角板（3）的中部设置有螺栓孔（19），连接螺栓（20）通过螺栓孔（19）将长方形弹性片（15）与XY平台连接在一起。