[发明专利]基板移送装置无效
| 申请号： | 201310632472.4 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103848564A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 金必钟 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B35/00 | 分类号： | C03B35/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种基板移送装置，其能够在不使脆性材料基板浮动下对载置位置进行修正，此外，能够在对脆性材料基板进行移送的途中对脆性材料基板的位置进行修正，且使位置调整结构变简单。本发明的基板移送装置，包含：基板位置检测摄影机，对已载置于基板载台的脆性材料基板上的部分进行拍摄且生成影像数据；基板位置修正值算出部，接收由基板位置检测摄影机所生成的影像数据，从影像数据算出脆性材料基板的基板位置修正值；以及基板移送手段，沿着已反映基板位置修正值的基板移送路径而对脆性材料基板进行移送；基板移送手段，从基板位置修正值算出部接收基板位置修正值，算出已反映基板位置修正值的基板移送路径。 | ||
| 搜索关键词： | 移送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板移送装置，其特征在于其包括：基板载台(200)，载置脆性材料基板(100)；基板位置检测摄影机(400、410、420、430)，对已载置于该基板载台(200)的该脆性材料基板(100)上的部分进行拍摄、生成影像数据；基板位置修正值算出部(500)，接收由该基板位置检测摄影机(400、410、420、430)所生成的影像数据，从该影像数据算出该脆性材料基板(100)的基板位置修正值；以及基板移送手段(700)，沿着已反映该基板位置修正值的基板移送路径而对该脆性材料基板(100)进行移送；该基板移送手段(700)，从该基板位置修正值算出部(500)接收该基板位置修正值，算出已反映该基板位置修正值的基板移送路径。
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