[发明专利]一种制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉

摘要

本发明涉及制备CIGS太阳能电池吸收层，具体说是一种制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，包括硒化CIGS太阳能电池衬底的炉膛和穿过该炉膛两端传送衬底的输送带，炉膛整个外壁包覆有温控加热装置，所述炉膛通过四对上、下挡板依次分隔为喷涂区、反应区和进气区，上、下挡板之间留有供输送带移动的间隙，所述喷涂区内安装有向移动的所述衬底喷射硒蒸气的喷射装置；在炉膛反应区一端设有惰性气体进气孔，炉膛另一端设有排气孔，所述喷涂区与反应区之间、反应区和进气区之间均设有气体通孔。本发明采用向匀速移动的衬底喷射硒蒸气的方式，不仅喷涂均匀，有利于提高硒化效果，而且效率高。

主权项

一种制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，包括硒化CIGS太阳能电池衬底的炉膛和穿过该炉膛两端传送衬底的输送带，炉膛整个外壁包覆有温控加热装置，其特征在于：所述炉膛通过四对上、下挡板依次分隔为喷涂区、反应区和进气区，上、下挡板之间留有供输送带移动的间隙，所述喷涂区内安装有向移动的所述衬底喷射硒蒸气的喷射装置；在炉膛反应区一端设有惰性气体进气孔，炉膛另一端设有排气孔，所述喷涂区与反应区之间、反应区和进气区之间均设有气体通孔。