[发明专利]透明导电性膜有效
申请号: | 201310597960.6 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN103839607A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 竹安智宏;山本祐辅;金谷实;佐佐和明 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B1/08;G06F3/044 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供结晶性优良,比电阻小的透明导电性膜。本发明的透明导电性膜(1),包含:膜基材(2)、和在该膜基材上形成的铟锡氧化物的多晶层(3)。多晶层(3),在厚度方向具有氧化锡的浓度梯度,多晶层(3)的厚度方向的氧化锡浓度的最大值为6重量%~12重量%。此外,多晶层(3)的总厚度为10nm~35nm,构成多晶层(3)的晶粒的最大尺寸的平均值为380nm~730nm。 | ||
搜索关键词: | 透明 导电性 | ||
【主权项】:
一种透明导电性膜,具有膜基材、和在该膜基材上形成的铟锡氧化物的多晶层,其特征在于,所述多晶层,在厚度方向具有氧化锡的浓度梯度,所述多晶层的厚度方向的氧化锡浓度的最大值为6重量%~12重量%,所述多晶层的厚度为10nm~35nm,构成所述多晶层的晶粒的最大尺寸的平均值为380nm~730nm。
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