[发明专利]一种石墨烯中远红外探测器及其制备方法

摘要

发明公开了一种石墨烯中远红外探测器及其制备方法，该红外探测器包含一层石墨烯薄膜，其基本单元为一个以胶体量子点层作为光控顶栅的石墨烯红外光电晶体管。该器件克服了石墨烯对光的吸收率低的问题，同时石墨烯沟道的电学可调特性得到了保持，因此该器件可同时受到光学与电学偏置的控制。该晶体管具有超高的红外光吸收率、内量子效率、增益和很低的噪声水平，且可根据所探测红外波长范围的不同选用不同的胶体量子点层材料。该器件易与现有硅基CMOS集成电路工艺相兼容，因此可以实现大规模、低成本传感器阵列的生产。该敏感器件的成功制备，将为高性能石墨烯基红外焦平面阵列传感器的研究奠定基础。

主权项

一种石墨烯中远红外探测器，其特征在于：该红外探测器包含一层石墨烯薄膜，其基本单元为一个以胶体量子点层作为光控顶栅的石墨烯红外光电晶体管。