[发明专利]亚微米球头电极制备装置及方法

摘要

一种亚微米球头电极制备装置及方法，属精密微细制造、测量领域。本发明运用液膜脉冲电化学加工方法可制备出表面质量好的亚微米探针，并在此基础上，通过瞬间微放电熔融、冷凝过程制备出亚微米球头工具电极。

主权项

一种亚微米球头电极制备装置，其特征在于：包括主动隔振平台（1）、安装于主动隔振平台（1）的多维精密移动平台、安装于多维精密移动平台的电解槽（18）、安装于电解槽（18）内的电极收集装置（4）、水平安装在电解槽（18）上的圆环阴极（5）；还包括安装于机床立柱上的Z轴精密移动平台（10）、安装于Z轴精密移动平台（10）的旋转主轴（9）、安装于旋转主轴（9）的夹头（8）； 还包括高频脉冲电源（11）、工控机（14）、示波器（12）、数据采集卡（13）、CCD（17）、视频采集卡（16）、PCI运动控制卡（15）；高频脉冲电源（11）的正负极分别连接到导电滑块（22）和圆环阴极（5），其中导电滑块（22）的触头与夹头（8）接触，电源正极通过导电滑块（22）和夹头（8）与微米级钨丝（7）连接；示波器（12）采集电路电流，并通过数据采集卡（13）将电流信号发送到工控机（14）；CCD（17）采集视频信号，并通过视频采集卡（16）发送到工控机（14）；工控机通过PCI运动控制卡（15）将运动控制信号发送给多维精密移动平台、Z轴精密移动平台（10）和旋转主轴（9）。