[发明专利]一种光学检测设备有效
| 申请号： | 201310557179.6 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN103558230A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 郑恒 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学检测设备，包括检测机台，所述检测机台设置有检测腔体，还包括除尘装置，所述除尘装置设置在所述检测腔体的设备出入口处。该光学检测设备通过在基板进出检测机台的设备出入口的位置增加设置除尘装置，能够在基板通过设备出入口进入检测机台时，通过除尘装置对基板进行整片扫描式除尘，实现对基板表面进行更加良好的清洁效果，进一步解决光学检测设备在对基板表面进行光学检测过程中，由于清洁效果不够良好导致灰尘等细小微粒残留在基板表面导致的光学检测结果产生误判的问题。通过使用上述光学检测设备，能够在对基板进行光学检测之前，利用除尘装置实时地对基板表面进行除尘，避免由于残留微粒导致误判。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种光学检测设备，包括检测机台，所述检测机台设置有检测腔体，其特征在于，还包括除尘装置，所述除尘装置设置在所述检测腔体的设备出入口处。
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